1913 H. G. J. Moseley trova la relazione fra lunghezza d’onda delle linee di emissione X e numero atomico. Egli osserva anche che nell’ottone le righe del rame sono più intense di quelle dello zinco. Si gettano così le basi per l’analisi qualitativa e quantitativa della spettrometria a raggi X.
1913 W. D. Coolidge introduce il filamento caldo nel tubo a scarica; ha origine il progenitore dei moderni tubi a raggi X.
1913-1921 M. Siegbahn misura le lunghezze d’onda degli spettri X degli elementi chimici
1922-1923 Compton osserva una componente diffusa di raggi X con lunghezza d'onda più lunga; Scattering Compton.
1922.1923 Compton ossserva la riflessione totale dei raggi X ad incidenza radente indicante che l'indice di rifrazione è leggermente inferiore ad 1.
1923 D. Coster e G. von Hevesy scoprono l’afnio, il primo elemento ad essere identificato attraverso il suo spettro X.
1924 W. Soller costruisce uno spettrometro a raggi X usando un collimatore a fogli metallici paralleli.
1924 Carrara suggerisce di usare reticoli di diffrazione per studiare spettri X.
1926 Compton e Doan sono i primi nell'ottenere tali spettri X.
1928 H. Geiger e W. Muller sviluppano il rivelatore a gas.
1946-1947 Prima osservazione della radiazione di sincrotrone.
1948 Nascita dell'astronomia a raggi X.
1951 Primi esperimenti con inserzione di dispositivi per radiazione di sincrotrone.
1961 Prime sorgenti a plasma.
1965 Prime zone plates ad alta risoluzione.
1984 Prima dimostrazione di laser XUV.
1994 Inaugurazione della sorgente europea di radiazione di sincrotrone ESRF(European Synchrotron Radiation Facility).
Una più dettagliata cronologia è presente nel sito http://www.science.unitn.it/~fisica1/raggi_x/storia/storia1.htm
